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直线电机平台

平面气浮直线电机检测平台

采用XY轴共面设计的GCD2T-QXY系列气浮平台拥有比一般XY平台更加优秀的平面度及形位公差,无铁芯直线电机保证了运动轴的运动精度、高动态响应以及运动效果均匀性,花岗岩底座更是为最佳的平面度提供了保

Product Description

产品描述

                     采用XY轴共面设计的GCD2T-QXY系列气浮平台拥有比一般XY平台更加优秀的平面度及形位公差,无铁芯直线电机保证了运动轴的运动精度、高动态响应以及运动效果均匀性,花岗岩底座更是为最佳的平面度提供了保证,是晶圆检测以及高精度面型微加工的首选。

主要性能参数:

型号

GCD2T-Q100

GCD2T-Q150

GCD2T-Q200

GCD2T-Q250

GCD2T-Q300

GCD2T-Q400

GCD2T-Q500

行程X轴Y轴(mm)

100

150

200

250

300

400

500

导轨类型

平面共轨气浮导轨

X电机规格

三相无铁芯电机持续60N峰值210N

Y轴

60N/210N

60N/210N

60N/210N

120N/420N(双驱)

120N/420N(双驱)

120N/420N(双驱)

120N/420N(双驱)

光栅分辨率

默认模拟量5nm(4096细分)最高1nm,可升级为数字量

X轴(上轴)空载最大加速度

4G

Y轴(下轴)空载最大加速度

2G

1.7G

1.5G

2G

2G

1.6G

1.4G

空载最大速度

2m/s

速度均匀性

≤1%

最大负载(kg)

15kg

双向重复定位精度

±0.1um

XY轴定位精度(补偿前)

±1

±1.5

±2

±2

±2.5

±3

±4

XY轴定位精度(补偿后)

±0.5

直线度

0.5

0.5

1

1

1.5

2

2.5

平面度

0.5

0.8

1

1

1.5

2

2.5

气源工作压力

0.3-0.48MPa

平台最大速度取决于有效行程、光栅分辨率以及光栅和驱动器的时钟频率,不同配置会导致此项参数上限值的变化,所有直线电机产品默认采用直线开放式光栅 详询厂家。

速度均匀性又称速度误差,与速度所处区间关系较大,速度越慢速度误差比例越大,低于1mm/s的应用,推荐采用线性驱动器。

此数据为实验室实测数据上限,如有更高要求,需搭配GC-K系列控制器,详询厂家,此数据为标定后参数。

外形尺寸图:

GCD2T-QXY尺寸图:

尺寸\型号100x100150x150200x200250x250300x300400x400500x500
W310360410460510610710
L380430480530580680780

实际尺寸会根据客户所需的行程来确定。

如需要进一步的尺寸信息或3D图档,请直接联系厂家。

特别注意事项:

1、直线电机平台属于高精度精密设备,因此如果希望得到最好的性能,需要保证足够的使用环境,尤其在使用要求重复定位精度小于1um的设备上,所有指标的复现都需要满足一定的温度、湿度、气压、振动等,详细要求可进一步联系厂家咨询沟通。

2、所有平台可单独订购,如对设备的精度以及性能要求较高,推荐使用光驰科技自主生产的控制器搭配控制器出货的产品,在出厂检验中都会做针对性的优化和校准,是您高要求使用的首选。

3、气浮平台需搭配空压机、储气罐、冷干机油水分离器、过滤器、干燥器、调压阀等辅助配件,详细规格请咨询厂家。

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